Hệ đo lường mét có nhiều đơn vị đo lường gồm:
Ngoài ra, trong hệ đo lường mét, còn có các đơn vị khác như micromét (μm), nanomét (nm), và các đơn vị lớn hơn như kilômét vuông (km²) và mét vuông (m²) cho diện tích, hay mét khối (m³) cho thể tích.
Các nước thời cổ đại đều có đơn vị độ dài riêng, việc này gây rất nhiều khó khăn trong việc đo đạc chính xác tỉ mỉ cũng như chuyển đổi đơn vị đo. Sau cách mạng công nghiệp thế kỷ XVIII, sự phát triển mạnh mẽ của khoa học kỹ thuật đã khiến các nhà toán học tìm ra một tiêu chuẩn độ dài thống nhất quốc tế có khả năng ổn định trong một thời gian dài.
Năm 1790 giới khoa học Pháp đã đo lường lấy một phần hai mươi triệu đường kinh tuyến Bắc - Nam làm tiêu chuẩn độ dài gọi là mét, căn cứ vào đó người ta dùng Bạch Kim chế tạo ra thước mét tiêu chuẩn đầu tiên.
Năm 1889 tại hội nghị đo lường quốc tế, người ta đã chính thức quyết định căn cứ vào độ dài thước mét tiêu chuẩn đầu tiên này, chế tạo ra thước mét có tiết diện hình X bằng hợp kim bạch kim - Irit và lấy nó làm thước mét tiêu chuẩn quốc tế và được lưu giữ ở Viện Đo lường quốc tế Paris. Thước mét mà các nước chế tạo ra sau đó đều phải định kỳ đưa đến Paris thẩm định và kiểm tra, đối chiếu với thước mét tiêu chuẩn này, nhưng các nhà khoa học vẫn chưa cảm thấy hài lòng với thước mét này vì nó quá yếu để duy trì độ chính xác quanh năm lý do là hợp kim bạch kim - Irit vẫn không tránh khỏi sự giãn nở vì nhiệt mặt khác nó lại làm bằng kim loại nên sẽ bị hao mòn theo thời gian. Sau này khi các nhà vật lý cận đại nghiên cứu về ánh sáng và phát hiện ra ánh sáng có màu sắc khác nhau thì có bước sóng khác nhau và bước sóng này rất ổn định.
Vì thế tháng 10 năm 1960 người ta chính thức xác định độ dài tiêu chuẩn của mét bằng 1650763 lần bước sóng ánh sáng màu da cam mà kripton - 86 phát xa trong chân không. Sau khi laze được phát minh, do tính đơn sắc của laze tốt, độ sáng cao nên người ta đã lấy bước sóng của tia laze làm tiêu chuẩn cơo bản thay thế cho kripton - 86. Tuy nhiên các nhà khoa học vẫn tiếp tục tìm kiếm cái thước có độ chính xác cao hơn. Ngày 20 - 11 - 1983 tại hội nghị đo lường quốc tế lần thứ 17 tổ chức tại Paris, các nhà khoa học đã tiến hành thêm một bước xác định độ dài tiêu chuẩn của mét, nó tương đương với độ dài đường truyền của ánh sáng trong thời gian 1/299792458 giây trong chân không. Do ánh sáng có tốc độ không đổi trong chân không, nên thước đo ánh sáng này mới đặc biệt chính xác. Nếu bây giờ có người hỏi bạn 1 mét là gì bạn hoàn toàn có thể trả lời với người đó rằng đó là quãng đường ánh sáng truyền trong chân không trong khoảng thời gian là 1/299792458 giây mà không bị bắt bẻ gì.
